Корпус установки вакуумного напыления является прочной несущей основой технологии вакуумного тонкоплёночного напыления
2026-08-28
Быстрое развитие таких отраслей, как полупроводники, оптические приборы, перовскитная фотоэлектрика, стимулирует итерацию технологий тонкоплёночного напыления PVD, CVD, многие сосредоточивают внимание на таких ключевых узлах, как мишени напыления и источники питания, но легко упускают из виду корпус установки вакуумного напыления как базовый ключевой компонент камеры, качество обработки корпуса напрямую определяет качество готовой продукции напыления и эффективность производства.
Вакуумное напыление требует стабильной герметичной среды высокого вакуума, корпус как носитель всего процесса должен выдерживать огромную разность давлений внутри и снаружи камеры, одновременно обладать коррозионной стойкостью и низкой скоростью утечки. Высококлассные корпуса в основном изготавливаются из высококачественной нержавеющей стали SUS304, SUS316L, проходят электролитическую полировку, сочетаются с двухслойным уплотнением, модульным проектированием интерфейсов, сочетая прочность конструкции, вакуумную герметичность и удобство обслуживания. Модульное проектирование интерфейсов облегчает монтаж, демонтаж и замену мишеней, газовых линий, контрольных компонентов, сокращая время простоя оборудования при модернизации и ремонте.
Такие корпуса широко применяются в производстве полупроводниковых компонентов, напылении оптических линз, разработке и производстве перовскитных и тонкоплёночных солнечных элементов, а также обслуживают научные эксперименты и высококлассную декоративную обработку поверхности. Производство корпусов предъявляет строгие стандарты к технологии сварки, уплотнительной сборке, обработке поверхности, повышение способности отечественной обработки высококлассных вакуумных камер будет содействовать самостоятельности и контролируемости цепочки производства отечественного оборудования вакуумного напыления и снижению зависимости цепочки поставок оборудования тонкоплёночного напыления для полупроводников и новой энергетики.
