Модернизация технологии производства корпусов установок вакуумного напыления, Хуэйтянь Технологии обслуживает полупроводниковую и новую энергетическую отрасли
2026-08-03
Технология вакуумного напыления широко применяется в области производства полупроводников, оптических приборов, новых энергетических батарей и высококлассной декоративной отделки, а качество корпусов установок напыления напрямую определяет стабильность вакуумной среды и качество напыления. ООО Чэнду Хуэйтянь Технологии, опираясь на многолетний опыт прецизионного производства, непрерывно оптимизирует выбор материалов, обработку, сварку и контроль корпусов установок вакуумного напыления, предоставляя клиентам высокоэффективные и высоконадёжные ключевые компоненты камер.
Корпуса установок вакуумного напыления, производимые Хуэйтянь Технологии, в основном изготавливаются из таких высококачественных материалов из нержавеющей стали, как SUS304, SUS316L, обладающих превосходной механической прочностью, коррозионной стойкостью и термической стабильностью. В технологии производства компания применяет электролитическую полировку или пассивацию для удаления микроновых заусенцев и оксидного слоя на внутренней стенке, формируя плотную пассивирующую плёнку, что эффективно снижает адсорбцию газов и примесей на поверхности камеры, обеспечивая предельный вакуум и долгосрочную стабильность. На этапе сварки применяется прецизионная технология сварки в сочетании с двухслойным уплотнением, уплотнительной структурой из фторкаучуковых кольцевых прокладок или прокладок из бескислородной меди, что обеспечивает чрезвычайно низкую скорость утечки вакуума, при этом скорость утечки некоторых высококлассных продуктов может достигать 1×10⁻⁹ Pa·m³/s и даже ниже.
В проектировании продукции Хуэйтянь Технологии уделяет внимание модульности и технологической совместимости. Корпуса обычно имеют большое количество предусмотренных вакуумных интерфейсов, что облегчает подключение турбомолекулярных насосов, механических насосов, вакуумметров и различных источников напыления; внутренняя пространственная компоновка гибкая, может быть оснащена водоохлаждаемым или нагреваемым столиком подложки, планетарным вращающимся держателем и другими, удовлетворяя потребности различных технологий напыления, таких как магнетронное распыление, термическое испарение, испарение органических веществ.
В настоящее время продукция корпусов установок вакуумного напыления компании уже широко применяется в таких отраслях, как производство полупроводников, оптические приборы, перовскитные и тонкоплёночные солнечные батареи, научные эксперименты и высококлассная декоративная обработка поверхности. В будущем Хуэйтянь Технологии продолжат, опираясь на способность прецизионного производства, непрерывно повышать технический уровень и способность поставки продукции вакуумных камер, создавая для клиентов большую ценность.
